JAEA
  • help
  • PC | SP
  • JP | EN
          
検索対象：     
報告書番号：
※ 半角英数字
 年 ～ 
 年
全てクリア
検索結果：　1 件中 1件目～1件目を表示
  • 1

発表形式

Initialising ...

選択項目を絞り込む

掲載資料名

Initialising ...

発表会議名

Initialising ...

筆頭著者名

Initialising ...

キーワード

Initialising ...

使用言語

Initialising ...

発行年

Initialising ...

開催年

Initialising ...

選択した検索結果をダウンロード

口頭

Synchrotron radiation photoemission study of oxides at Ge(100) surface after atmospheric exposure

吉越 章隆; 岡田 隆太*; 寺岡 有殿; 山田 洋一*; 佐々木 正洋*

no journal, , 

Geは将来のFETの代替え材料として注目されている。FETの性能向上に向けて、Ge結晶表面に形成される酸化物の原子レベルの理解が求められている。本発表では、Ge(100)2$$times$$1表面を待機に曝した後に形成される酸化物の放射光光電子分光分析結果を報告する。大気曝露が10時間を越えるSiO$$_{2}$$形成に対応するGe$$^{4+}$$酸化状態が高エネルギー分解能Ge3d光電子スペクトルに明瞭に観察された。さらに、3ヶ月後ではGe$$^{4+}$$成分の増加を観察した。これらの結果は、超高真空環境下での酸素曝露とはっきり異なる結果であり、酸素ガス圧あるいは待機中の水分の存在の影響を示唆するものである。

1 件中 1件目～1件目を表示
  • 1